光谱反射计

产品介绍：

薄膜厚度测量和反射计系统SR100通过测量反射光谱,结合tfprobe软件建模能力可获得薄膜性质。TFProbe系列光谱反射工具具有许多特点，如长工作距离、工作距离可调、大平台尺寸、可选择的光源和可调光源强度等。简单的附加功能也可选，如传输、曲面测量适配器、多通道、大或小光束设置等等

产品参数：

主要应用：

太阳能电池中的薄膜

光刻胶，聚酰亚胺，氧化物，氮化物

光学涂层，TiO2，SiO2，Ta2O5 ...

半导体化合物，电池间隙

MEMS / MOEMS中的功能性薄膜

薄膜晶体管（TFT）堆叠

导电氧化物：氧化铟锡

在医疗器械上涂层