准分子激光器

参数

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

波长 nm

157

193

248

308

351

最大能量.mJ

3

20

35

15

15

能量控制范围，mJ

1~3

5~20

10~35

7~15

7~15

最大稳定能量   200Hz

2.5

15

30

15

12

平均功率 W 300/600

0.6/1.2

4/7

6/12

3/6

3/6

稳定性标准偏差

<1%   最大重复频率

重复率，Hz

300/600/1000

动态态气体寿命

2.00E+08

2.00E+08

5.00E+08

1.00E+08

3.00E+08

静态气体寿命 50%能量

15days

60days

90days

>1year

90days

脉冲长度，ns

12~15

光束尺寸，ns

5×3

8×3

发散，mrad全角

1×2

冷却方式

风冷

光学服务

5.00E+08

3.00E+08

1.00E+09

1.00E+08

3.00E+08