用于激光精密加工设备的光栅尺

发表时间:2020-05-13 14:24

       RESOLUTE是一款光栅系统。它具有抗污能力,其技术指标也高。它是一款能够在100 m/s的速度下实现1 nm分辨率(线性系统),在36,000转/分的速度下实现32位分辨率(圆栅系统)的光栅。的电子细分误差 (SDE) 和抖动使该直线光栅系统从同档次光栅中脱颖而出。

精度1 m内为±1 µm,以后±1 µm/m
栅距30 µm
热膨胀系数(20°C时)0.75 ±0.35 µm/m/°C
栅尺长度1.5 m


       使用此款光栅尺可大幅激光加工设备的精度及效率,适用于固定光路微动平台的各类精密激光加工设备。位置读取功能可记忆每次停机时的准确位置,开启无需归零复位。


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