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2020-03-14
产品详情
膜厚测图系统SRM
品牌厂家: Angstrom
联系方式: 18802073635
产品经理: 王经理
产品详情

产品介绍:

SRM通过测量反射光谱,结合tfprobe软件建模能力可获得薄膜厚度均匀性及其光学特性。如果在低预算的情况下需要对已知胶片或简单胶片进行快速、常规、日常测量,那么SRM系列是的选择。

tfprobe系列光谱反射映射工具,具有许多特点,如长工作距离,工作距离可调的,对于不同的晶圆尺寸应用的各个阶段,可选择的光源和可调光源强度等。

产品参数:

波长范围

250~1100nm

光斑尺寸

500μm~5mm

样品尺寸

直径可达300mm

底材尺寸

厚度可达50mm

层数

可达5层

可测厚度范围

5nm~50μm

测量时间

2ms-1s/现场典型

位置重复性

~1μm

精度

优于0.5%

重复性

<2Ǻ

注意:

1,系统配置和规格如有变更,恕不另行通知

2,膜性质、表面质量和层堆叠不是独立的

3,可定制用于应用的系统

4,TFProbe是Angstrom Sun Technologies Inc注册商标                                                 

 

主要应用:

1.光刻胶,聚酰亚胺,氧化物,氮化物

2.光学涂层,TiO2,SiO2,Ta2O5 ...

3.半导体化合物,细胞间隙

4. MOEMS中的功能性薄膜

5.薄膜晶体管(TFT)堆叠

6.导电氧化物:氧化铟锡

7.医疗器械上的涂料

8.非晶,纳米和结晶膜


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