产品介绍：
薄膜厚度测量和反射计系统SR100通过测量反射光谱,结合tfprobe软件建模能力可获得薄膜性质。TFProbe系列光谱反射工具具有许多特点，如长工作距离、工作距离可调、大平台尺寸、可选择的光源和可调光源强度等。简单的附加功能也可选，如传输、曲面测量适配器、多通道、大或小光束设置等等
产品参数：
波长范围 | 25-~1100nm |
现货尺寸 | 500μm~5mm |
样品尺寸 | 直径200*200mm或200mm |
底材尺寸 | 厚度可达50mm |
可测量厚度范围 | 最大50μm |
测量时间 | 2ms最小 |
精度 | 优于0.25% |
重复性 | ＜1A |
主要应用：
太阳能电池中的薄膜
光刻胶，聚酰亚胺，氧化物，氮化物
光学涂层，TiO2，SiO2，Ta2O5 ...
半导体化合物，电池间隙
MEMS / MOEMS中的功能性薄膜
薄膜晶体管（TFT）堆叠
导电氧化物：氧化铟锡
在医疗器械上涂层
