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2020-03-14
产品详情
准分子激光器
品牌厂家: 美国GAMLASER
联系方式: 18802073350
产品经理: 马经理
产品详情

产品介绍:

  微电子应用激光器(SE-Version): 半导体加工,掩模检查,微光刻和计量激光器,满足CE标志和SEMI S2标准。 所有半导体准分子激光器采用全金属/陶瓷技术,以最小的服务实现最长的激光寿命。比标准的准分子激光器, SE型准分子激光器具有洁净室封装,长的腔室寿命和更长的气体寿命。

产品参数:

参数

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

波长 nm

157

193

248

308

351

最大能量.mJ

3

20

35

15

15

能量控制范围,mJ

1~3

5~20

10~35

7~15

7~15

最大稳定能量   200Hz

2.5

15

30

15

12

平均功率 W 300/600

0.6/1.2

4/7

6/12

3/6

3/6

稳定性标准偏差

<1%   最大重复频率

重复率,Hz

300/600/1000

动态态气体寿命

2.00E+08

2.00E+08

5.00E+08

1.00E+08

3.00E+08

静态气体寿命 50%能量

15days

60days

90days

>1year

90days

脉冲长度,ns

12~15

光束尺寸,ns

5×3

8×3

发散,mrad全角

1×2

冷却方式

风冷

光学服务

5.00E+08

3.00E+08

1.00E+09

1.00E+08

3.00E+08

注:如需详细规格参数资料,或有其他要求,请联系我们。

主要应用:

替代医用激光器

电离源

微加工

精确标记

屈光手术

拉曼光谱


ANTE LASER
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